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氧氣的分析方法很多，煙氣中的氧氣帶有幾個顯著特點：污染性氣體、帶有粉塵、帶有水和有機物、容易產生交叉干擾、高溫、濃度為百分之幾等。
一般適合于從煙氣中分析氧氣含量的方法包括以下幾種：
一、化學吸收式，即利用化學溶液吸收氧氣，以前較為普遍使用的“奧氏氣體分析器”就是使用此方法。優點是結構簡單、首次購置成本低，缺點則較多，對人員的要求高，化學試劑成本高且不夠環保，難主連續分析，分析結果不實時，難以攜帶等。
（老式的奧氏氣體分析器）
二、氧化鎬式，氧化鎬能直接從高溫煙氣中得到氧氣含量并轉化為電信號輸出。優點是結構簡單、耐高溫、體積小、容易安裝。但是煙氣中存在許多對氧化鎬有毒性的氣體，比如二氧化硫，其會導致氧化鎬迅速損壞。
三、熱導式，熱導是常用的氣體分析方法，但是使用在煙氣中時，則受到較大的交叉干擾，因為從原理上，熱導式主要是分析純凈背景氣中的氣體成份，而煙氣的成份肯定不純凈且存在變化。
四、電化學燃料電池式，使用特殊地氧敏物質封裝在一個傳感器中，氧氣濃度不同時，該氧敏物質導致電流或電壓發生線性變化，從而分析出氧濃度。一般常用在便攜式煙氣分析儀中，其有體積極小、工作電壓電流極低、迅速預熱等特點。但需要定期更換。
五、順磁式，利用氧分子的順磁性，使用磁壓傳感器進行測量。這是氧氣測量的標準方法，精度高、響應時間短（10秒以內），高級在線式煙氣分析系統，一般采用此方法。
總之，用戶需要根據自己的要求，選擇一個合適的方法測量煙氣中的氧，達到費用合理、精確度達到要求、響應時間滿足要求。
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